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一種基于Fano共振的全介質(zhì)超表面折射率傳感器
鄭露; 張翔宇; 桑艷; 劉波; 劉會剛; 劉海濤 南開大學(xué)電子信息與光學(xué)工程學(xué)院微電子工程系; 天津300350; 南開大學(xué)電子信息與光學(xué)工程學(xué)院現(xiàn)代光學(xué)研究所; 天津300350; 天津市光電傳感器與傳感網(wǎng)絡(luò)技術(shù)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室; 天津300350
關(guān)鍵詞：全介質(zhì)超表面 折射率傳感器 fano共振
摘要：提出了一種以'雙C'形硅納米天線為基本單元的全介質(zhì)超表面折射率傳感器。介紹了法諾(Fano)共振的原理,通過建立法諾共振解析模型,解釋了該傳感器反射率譜曲線不對稱線型形成的物理機(jī)制。用電磁仿真軟件對介質(zhì)超表面進(jìn)行了數(shù)值仿真,仿真結(jié)果顯示該超表面用作折射率傳感器時(shí)具有較高的靈敏度、Q因子與FOM值,分別達(dá)到228nm/RIU、1 162與243。
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