購物車(0)
自組織分層金屬摻雜類金剛石薄膜的研究進(jìn)展
關(guān)鍵詞：金屬摻雜類金剛石 相分離 自組織分層 富金屬層 富碳層
摘要：近年來,研究學(xué)者發(fā)現(xiàn)在沉積過程中,某些金屬元素?fù)诫s類金剛石薄膜時(shí)能夠形成一種特殊的自組織分層納米結(jié)構(gòu),這種納米結(jié)構(gòu)克服了人為調(diào)控多層薄膜的工藝復(fù)雜性及局限性,同時(shí)賦予了薄膜更加優(yōu)異的性能。主要綜述了國內(nèi)外對金屬摻雜類金剛石薄膜中自組織分層結(jié)構(gòu)的影響因素、形成機(jī)理等方面的研究現(xiàn)狀。詳細(xì)闡述了金屬類型及含量、沉積條件(脈沖頻率、基體偏壓、氣流比、沉積溫度、沉積時(shí)間)、沉積方法等參數(shù)對自組織分層結(jié)構(gòu)的生成及富金屬層厚、富碳層厚、層數(shù)等尺寸的作用規(guī)律。重點(diǎn)介紹了離子重排機(jī)理、金屬催化機(jī)理、強(qiáng)離子輻照誘導(dǎo)機(jī)理和靶中毒機(jī)理四種自組織分層結(jié)構(gòu)形成機(jī)理的特點(diǎn),并探討了目前研究工作中存在的一些不足,如自組織分層結(jié)構(gòu)的形成機(jī)理尚不清晰。上述四種機(jī)理模型均具有一定的局限性,且如何設(shè)計(jì)工藝參數(shù)實(shí)現(xiàn)自組織分層結(jié)構(gòu)的內(nèi)在調(diào)控仍是一個(gè)科學(xué)難點(diǎn)。針對這些問題,提出了自組織分層結(jié)構(gòu)碳基薄膜的未來研究方向。
表面技術(shù)雜志要求:
{1}來稿所關(guān)涉的課題及向有關(guān)人員表示的謝忱等內(nèi)容，應(yīng)以腳注①的形式標(biāo)在正文首頁下方，同時(shí)注明課題的批準(zhǔn)編號。
{2}依《中華人民共和國著作權(quán)法》規(guī)定，所有作品，無論發(fā)表與否，作者對其均享有著作權(quán)。
{3}請勿一稿多投，投寄稿件后1個(gè)月內(nèi)末接到本刊稿件接受通知的，作者可自行處理。無論刊登與否恕不退稿，請作者自留底稿。
{4}引用自己的作品時(shí)，請直接標(biāo)明作者姓名，不要使用“拙文”等自謙詞。
{5}基金項(xiàng)目，國家、省市科研項(xiàng)目及獲獎(jiǎng)?wù)撐膬?yōu)先錄用。
注：因版權(quán)方要求，不能公開全文，如需全文，請咨詢雜志社
