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大面積芯片/DBC基板自蔓延互連熱應(yīng)力場研究

向語嫣; 周政; 張峻; 劉輝; 周龍早; 吳豐順 華中科技大學(xué); 湖北武漢430074; 北京衛(wèi)星制造廠; 北京100094

關(guān)鍵詞:自蔓延互連 熱應(yīng)力場 有限元模擬 

摘要:與傳統(tǒng)整體加熱的大面積芯片/DBC基板焊料互連方法相比,使用自蔓延薄膜為局部熱源的焊料互連方法有加熱迅速、熱影響區(qū)小和熱量集中等特點(diǎn)。主要采用有限元模擬的方法,對大面積芯片/DBC基板自蔓延互連過程中的熱應(yīng)力場進(jìn)行分析,得到了不同時刻互連結(jié)構(gòu)的翹曲變化,研究了壓力對互連結(jié)構(gòu)殘余應(yīng)力的影響規(guī)律。

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{1}摘要及關(guān)鍵詞:文中必須附中文摘要,內(nèi)容包括目的、方法、結(jié)果(應(yīng)給出主要數(shù)據(jù))及結(jié)論4個部分內(nèi)容,要求以第3人稱撰寫200-300字為宜,并附3-8個關(guān)鍵詞。有條件者,可將文題、作者、單位、摘要及關(guān)鍵詞譯成英文。

{2}來稿力求做到富有思想性,觀點(diǎn)新穎、概念準(zhǔn)確、論證嚴(yán)謹(jǐn)、邏輯清晰、資料翔實(shí)、格式規(guī)范、文字精煉。

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