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利用射頻與高壓直接耦合等離子體注入進行不銹鋼表面改性
鞏春志 田修波 楊士勤 哈爾濱工業大學材料學院現代焊接生產技術國家重點實驗室 哈爾濱150001
關鍵詞：射頻 高壓 耦合 等離子體離子注入 不銹鋼
摘要：介紹了一種新的等離子體離子注入在不銹鋼表面改性上的應用。將高壓脈沖和射頻脈沖直接耦合到工件上，不需外部等離子體源，利用工件自身加射頻產生等離子體，隨后施加高壓對不銹鋼表面進行了注氮處理。XPS分析顯示，在基體表面有氮元素存在，說明實現了射頻與高壓直接耦合的離子注入效果。進一步研究表明，等離子體離子注入后，在不銹鋼基體表層形成了Cr2O3以及CrN，FeN等硬質相，因此處理后的試件耐摩擦、磨損和耐腐蝕性能得到了較大提高。同時研究顯示，射頻脈沖寬度或射頻與高壓相位的改變對摩擦系數影響不大。
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