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基于圖像分析的SEM顯微視覺自動聚焦技術研究
李勇滔 韓立 中國科學院電工研究所 北京100080 中國科學院研究生院 北京100039
關鍵詞：sem 自動聚焦 圖像分析
摘要：為了快速準確地獲取清晰的SEM顯微圖像，提出了一種基于圖像分析的SEM顯微視覺自動聚焦技術。該技術采用了兩級清晰度評價函數的自動聚焦策略，首先利用基于灰度差分的評價函數對圖像進行分析評價，然后以大步距遍歷搜索函數峰值，直至第一次經過峰值；接著，再利用基于DCT（discrete cosine transformation）變換的評價函數來分析評價圖像之后，以小步距進行局部搜索，直至搜索到清晰的SEM顯微圖像，完成SEM的自動聚焦。實驗證明，該技術準確有效，具有較強的魯棒性和實時性。
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