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交指型MEMS濾波器的優化設計
唐小龍; 金中; 何西良; 劉婭; 梁柳洪; 劉洋宏 中國電子科技集團公司第二十六研究所; 重慶400060
關鍵詞：交指濾波器 主動空間映射算法 參數提取
摘要：交指型微機電系統(MEMS)濾波器是采用MEMS工藝制備出的交指型結構濾波器,針對交指型MEMS濾波器電磁優化算法中存在速度慢,占用計算資源大等問題,對交指型MEMS濾波器優化設計方法進行了研究。采用主動空間映射算法,在ADS和HFSS軟件中建立濾波器電路結構模型和三維結構電磁模型,并分別將它們用于主動空間映射算法所需的粗糙仿真和精確仿真,僅進行了5次精確仿真就完成了一款Ku波段濾波器的優化設計。結果表明,設計的濾波器中心頻率為14GHz,頂部損耗為1.6dB,-1dB帶寬為2.2GHz,滿足設計指標要求,同時驗證了優化設計方法的可行性。
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