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冶金法提純多晶硅退火工藝優化的數學模型分析與試驗驗證
朱徐立; 徐隆; 蘇騎; 吳虹瓊 廈門城市職業學院機械與自動化工程系; 廈門361000; 美甘齊動(廈門)物料輸送工程股份有限公司; 廈門361000; 廈門理工學院軟件工程學院; 廈門361000
關鍵詞：多晶硅 冶金法 退火 建模 試驗
摘要：冶金法制備多晶硅過程中,通過對不同退火溫控方案進行數學建模,探求優化的退火理論溫度控制函數與曲線。數學模型表明,對硅鑄錠直接進行保溫,依靠自然熱平衡退火,會使內部應力大于產生位錯的臨界應力;采用加熱元件對硅鑄錠適當加熱保溫可減緩降溫速率。通過比較,選擇較低的退火溫度1 236℃和較短的退火時間8.52 ks作為試驗退火溫控方案。試驗驗證表明,該退火方案得到的多晶硅鑄錠目視裂紋較少,少數載流子壽命與電阻率具有明顯優勢。
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