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高純四氟化硅的制備技術研究進展
繆光武; 張金柯; 白占旗; 何雙材; 曾群; 胡欣; 劉武燦 浙江省化工研究院有限公司; 浙江杭州310023
關鍵詞：四氟化硅 制備 純化 電子氣體
摘要：四氟化硅是一種有機硅化合物合成材料,被廣泛應用于半導體行業,其需求量日益擴大,對其純度要求也越來越苛刻。本文介紹了四氟化硅常用制備方法及其優缺點,列舉了四氟化硅的純化方法。在實際生產過程中,企業需根據自身實際生產情況選擇合理的生產路線,結合制備工藝中雜質種類,選擇合適純化方法,獲得高純四氟化硅產品。
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